藍寶石材料

高純淨度藍寶石材料(Sapphire; Al₂O₃)是半導體，LED，IC封裝，TFT，等高科技產業嚴苛環境要求下最理想的高硬度材料。本公司以先進之KY工法提供客戶精密加工，單晶製作，且具成本效益之藍寶石產品，是客戶最佳之選擇。

本公司藍寶石材料之特性

• 硬度高，防刮防腐蝕。
• 透過結晶排列製程之技術可達光學等級之光傳要求 (包括UV，可見光， 及紅外線…等)
• 優異之耐化學特性 (包括Halogens， HCI plasmas， Fluorine plasma NF₃， CF₄ …)
• 耐高溫與高壓
• 穩定的高介電常數的電器絕緣材質
• 可製作各式各樣之形狀與架構

藍寶石材料之應用

• HPD CVD
• PECVD
• Dry Etch
• Wet Etch

藍寶石材料之成品

• Plasma containment tubes
• >330mm large components
• Viewports
• End effectors
• Lift pins
• Edge rings
• Showerheads
• E-chucks